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åœ?04不锈钢表面直写扫描打标刻蚀图案

¾~–辑   重庆初刻   发表äº?022/8/23 0:00:00

ä¸ÞZº†抑制杂散腐蚀åQŒ实现微¾l†电(sh¨´)解加工,本文采用光纤‹Ȁ光表面工½E‹技术,åœ?04不锈钢表面直写扫描打标刻蚀图案åQŒ进行表面改性,生成å…ähœ‰耐腐蚀性保护掩膜,¾l“合微细ç”?sh¨´)解加工åQŒ生成复杂微¾l†结æž?

研发的光¾U¤激光掩膜微¾l†电(sh¨´)解加工装¾|®是ž®†光¾U¤激光表面改性模块与微细ç”?sh¨´)解加工模块安装在同一分èöL率äؓ(f¨´)0åQ?μm的三轴进¾l™滑å�îC¸ŠåQŒ解å†Ïx¿€光掩膜电(sh¨´)解复合加工定位问é¢?

‹Ȁ光制掩膜模块采用脉冲式输出的光纤‹Ȁ光器åQŒ振镜光学振镜ã€?

光纤‹Ȁ光器输出功率范围0ï½?0WåQŒ最ž®�激光光斑直径äؓ(f¨´)10μmåQŒ激光输出频率范å›?ï½?00kHzåQŒ输出激光æ‡Lé•?åQ?64μmã€?

通过¾_‘֯†‹Ȁ光器的光学聚焦系¾lŸåŞ成直径很ž®�的‹Ȁ光焦点,¾l�过¾_‘֯†三坐标工作台、振镜能控制‹Ȁ光焦点在工äšg扫描路径åQŒ在工äšg表面加工直写åQŒ实现对工äšg表面加热区域的尺寸和形状严格控制åQŒ进行激光表面改性处理,可以在工件上生成å…ähœ‰ç‰Ҏ(gu¨©)®Š性质的复杂åŞ状图案作为掩膜。由于采用的光纤‹Ȁ光功率小、脉冲性输出,脉冲宽度只有100nsåQŒ所以激光扫描过的表面熔层很薄、热作用区很ž®�,生成亚微¾c³çñ”掩膜保护å±?